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微弱漏

微弱漏是一个用于微电子封装密封渗漏测试的术语。

密封封装是以氦气加压或包装内的微量氦气体进行密封。 密封封装经由真空腔连接到一台质谱仪,氦气渗漏率以atm-cc/sec为单位进行测量。

军用标准允许密封封装的泄漏率小于或等于5 x 10-8atm-cc/sec。