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微弱漏

微弱漏是一个用于微电子封装密封渗漏测试的术语。

A hermetically sealed package is pressurized with helium or sealed with a helium trace gas inside the package.  The sealed package is subjected to a vacuum chamber connected to a mass spectrometer and the rate of helium leak is measured in atm-cc/sec. 

军用标准允许密封封装的泄漏率小于或等于5 x 10-8atm-cc/sec。